主な研究設備
「主なプロセス装置・設備」
分子線エピタキシー(MBE)(3台,内2台は超高真空連結)
窒素ラジカルビーム源
クリーンルーム
クリーンベンチ
マスクアライナー
2元高周波マグネトロンスパッタ蒸着
高周波スパッタ蒸着
直流スパッタ蒸着
電子ビーム蒸着
低エネルギーイオンビームエッチング
超高真空スーツケース
ケミカルドラフト
超純水精製
均温加熱処理炉
酸化・拡散炉
エポキシダイボンダー
「主な物性・デバイス測定評価装置」
超高真空極低温走査型トンネル顕微鏡(UHV-LT-STM)
原子間力顕微鏡(AFM)
電界放出走査型電子顕微鏡(FE-SEM) [研究設備センター]
走査型電子顕微鏡(SEM)
オプトデジタルマイクロスコープ
ノマルスキー式微分干渉顕微鏡
反射型高速電子線回折(RHEED)(2台)
ソーラーシミュレーター(1 sun)
集光型ソーラーシミュレーター
分光感度スペクトル測定
紫外可視近赤外分光光度計
紫外光透過スペクトル測定
FT-IR分光器
白色ファイバーレーザ
極低温フォトルミネッセンス測定(PL)
極低温フォトルミネッセンス励起スペクトル測定(PLE)
近赤外ピコ秒時間分解顕微フォトルミネッセンス測定(TR-μPL)
極低温コンダクタンス測定
フォト・キャパシタンス測定
磁気カー効果測定
ホール効果測定
四重極質量分析計
2次イオン質量分析(SIMS) [研究設備センター]
X線回折(XRD) [研究設備センター]